Schaeffler CZ s.r.o.
DALŠÍ INFORMACE
Systém výběru produktu a konzultační systém - medias®
Válečkové jednotkyKUVE - jednotky s oběhem kuličekKONTAKT
Poradenství
Distribuční společnosti / distribuční partnerLitografie
Vysoce přesná lineární vedení na stoly souřadnic
Aby bylo možné nanést na čipy potřebné struktury, pokrývají se vrstvou fotolaku mimořádně citlivého na světlo. Uvedený lak se osvětlí přes masku a rozloží se tam, kam dopadlo světlo.
Ve výrobě polovodičů další generace budou výrobci usilovat o velikosti struktur pod 60 nm, aby dokázali dosáhnout vyšší hustoty paměti a rychlostí spínání.
Lineárním pohonem poháněné souřadnicové stoly zajišťují pohyb substrátu a projekční masku. Základem stroje je stabilní granitový podstavec tlumící rázy a vysoce přesné vedení - například jednotka válečkového ložiska INA RUE. Toto mimořádně tiché vedení se vyznačuje stejnoměrným chodem a odporem proti posuvu a zaručuje tak vysokou reprodukovatelnost a přesnost při nastavování polohy.
