
Planární pohony jsou nejvhodnější k polohování mezi dvěma body s přesnými požadavky v rozsahu µm. Planární pohon lze použít také svisle a nad hlavou. Systém je výkonný, pokud na jednom statoru pracuje ne jeden, ale několik rotorů, které ovládají řadu doplňkových os v pracovním prostoru.
Planární motor lze řídit v rozsahu mikroskopických kroků nebo v regulovaném provozu. Vybavený třemi magnetickými měřicími hlavami pracuje jako elektronicky komutovaný stejnosměrný motor ve třech souřadnicích.
|
Přednosti
|
Oblasti použití